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ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

更新時間:2022-11-16

簡要描述:

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列,采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計的,如真空鍍膜和濺射過程等。

型號:21V系列點擊量:1281

  免費咨詢:86-021-59966206

  發(fā)郵件給我們:501630350@qq.com

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列

應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 半導(dǎo)體

● 光伏

● 過程工藝氣體測量

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列

產(chǎn)品特色


數(shù)字化產(chǎn)品
帶氣動截止閥,泄漏率低
多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式:數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度:可優(yōu)于0.5%
 量程比 200:1
響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))
內(nèi)置98種氣體
現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣



技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體,請參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表

                  一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    200:1

最大顯示流量    102.4%FS

顯示屏    帶按鍵,標(biāo)準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度    ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程

高精度    ±(0.4%RD + 0.2%FS),選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門泄漏率    不超過1x10 atm scc/sec (He)

重復(fù)性    ± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移    0.02% FS / ?C / Atm

響應(yīng)時間    100ms(可調(diào))預(yù)熱時間:<1s

標(biāo)定工況:25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度:-10 ~ +50 ℃

工作濕度:0-100%,無冷凝

標(biāo)準最大工作壓力    1MPa 表壓

標(biāo)準極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號:RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ~ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材質(zhì)    316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV,玻璃增強尼龍

鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅,玻璃, PCTFE

安裝方式    對位置無要求 防護等級:IP40

氣體編碼


選型表截圖長圖.png

混合氣體編碼為“800",選項中須有具體混合氣體比例說明。

對于液體流量計和控制器,液體指純水,液體編碼為“900"。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品,可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品,可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品,可支持①、②、③類氣體。


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